分析機器の大手サプライヤーであるマルバーン・パナリティカルは本日、フライベルク・インスツルメンツ社（Freiberg Instruments GmbH）のX線回折（XRD）製品6機種の製品ラインを買収したことを発表しました。この買収は、マルバーン・パナリティカルの成長戦略を支えるものであり、半導体業界向け市場をリードする分析ソリューションのポートフォリオをさらに充実させるものです。
半導体製造では、薄型ウェーハの製造に必要な多様な結晶基板材料への依存度が高まっています。製造プロセスの高度化と生産量の増加に伴い、これらのウェーハを迅速かつ効率的に生産する必要性が高まっており、正確な結晶方位やオフカット角度の制御がますます重要になっています。 今回買収したXRDシステムにより、インゴットやウェーハの配向測定を迅速に行うことが可能となり、エピタキシーやリソグラフィー前の半導体基板の準備工程を加速・簡素化します。これにより、歩留まりが向上し、廃棄物が最小限に抑えられ、コストが削減されるため、お客様のサステナビリティへの取り組みを支援します。
マルバーン・パナリティカル社の半導体計測部門ビジネス開発マネージャー、ラース・グリーガー氏は次のように述べています。 「当社の分析製品ポートフォリオにこれらの専門製品が加わったことで、革新的な結晶方位制御が可能になります。マルバーン・パナリティカルのグローバルな展開と専門知識と組み合わせることで、半導体ウェーハ業界に大きな推進力をもたらします。これはマルバーン・パナリティカルにとって非常にエキサイティングな時期であり、お客様のために半導体計測の未来を実現するお手伝いができることを楽しみにしています。」
フライベルク・インスツルメンツGmbHのCEO兼オーナーであるケイ・ドルニッチ氏は次のように述べた。「当社のXRDソリューションは、超高速のオメガ・スキャン技術により、半導体メーカーに対して一貫してその価値を実証してきました。その速度、堅牢性、信頼性は、マルバーン・パナリティカルの製品ラインナップにとって素晴らしい補完となり、これらの独自の技術が世界中の顧客に提供されることを大変嬉しく思います。 フライベルク・インスツルメンツでは、既存のお客様へのサポートを継続するとともに、マルバーン・パナリティカルが新たに取得したX線回折装置を補完する、自動化ワークフロー向けソリューションを含む専門的なソリューションの提供を維持していきます。」
マルバーン・パナリティカル社の社長、マーク・フライナー氏は次のように付け加えました。「当社は、事業を展開するあらゆる業界のお客様に対し、卓越した最先端のソリューションを提供することに全力を注いでいます。フライベルク・インスツルメンツ社からこれら6つのX線回折装置を買収したことは、半導体業界のお客様に対する当社のコミットメントを裏付けるものであり、このエキサイティングな分析分野において、選ばれる装置サプライヤーとなるという当社の意欲を示すものです。
これらの装置に関する詳細は、ウェブサイトをご覧ください