Materialien
Hochentwickelte Materialforschung und -entwicklung – Einige Beispiele für Forschungsanwendungen
Bestimmung der Eisenkonzentration
Bestimmung der Trap-Konzentration
Bestimmung der Bor-Sauerstoffkonzentration
Injektionsabhängige Messungen und mehr
Eigenschaften & Vorteile
Durchsatz
>240
Ingots pro Tag
Geschwindigkeit
> 99%
Wiederholbarkeit
1 mm
Schnittkriterien für Ziegel mit den Maßen 156 × 156 × 400 mm
Qualität
Überwachung
Berührungslose und zerstörungsfreie Lebensdauerbildgebung (μPCD/MDP (QSS)), Messung der Photoleitfähigkeit, des spezifischen Widerstands und der p/n-Prüfung gemäß dem Halbleiterstandard SEMI PV9-1110
Wafer-Schneiden, Ofenüberwachung, Materialoptimierung und mehr
Bester Durchsatz: >240 Bricks/Tag oder >720 Wafer/Tag
Messgeschwindigkeit: <4 Minuten für einen Standard-Brick mit den Maßen 156 x 156 x 400 mm
Ertragssteigerung: 1-mm-Schneidekriterium für einen Standard-Brick mit den Maßen 156 x 156 x 400 mm
Qualitätskontrolle: konzipiert für die Qualitätsüberwachung von Prozessen und Materialien wie mono- oder multikristallinem Silizium
Kontaminationsbestimmung: Metallkontaminationen (Fe) aus Tiegeln und Anlagen
Zuverlässigkeit: modulares und robustes Industriegerät für höhere Zuverlässigkeit und eine Betriebszeit von > 99 %
Wiederholbarkeit: > 99 %
Widerstandsfähigkeit: Kartierung des spezifischen Widerstands ohne häufige Kalibrierung
Fakten
Völlig berührungslose, zerstörungsfreie elektrische Charakterisierung von Halbleitern
spezielle „unter der Oberfläche“ liegende Lebensdauer-Messtechnik
hohe Empfindlichkeit zur Visualisierung bisher unsichtbarer Defekte
Automatisierte Definition von Schnittkriterien
Räumlich aufgelöste Erkennung der Umwandlung des p/n-Leitungstyps
Anwendungen
Zubehör & Konfigurationsmöglichkeiten
Schwankungen der Spotgröße
Widerstandsmessung (Ziegel/Wafer)
Hintergrund-/Bias-Licht
Reflexionsmessung (MDP)
LBIC
BiasMDP
LBIC für Solarzellen
LBIC, BiasMDP-Messstation mit Kontakten
Referenzwafer
Widerstandskalibriersatz (Blöcke/Wafer)
Interne Eisenkartierung von Si
P/N-Erkennung
Barcode-Lesegerät
Große Auswahl an Lasern
