Mit MDPmap lassen sich nicht nur injektionsabhängige Lebensdauerkurven, sondern auch Photoleitfähigkeitskurven über einen sehr weiten Injektionsbereich messen.
In MDPmap und MDPingot können bis zu 4 verschiedene Laser integriert werden, wodurch es möglich ist, nicht nur injektionsabhängige Lebensdauerkurven, sondern auch Photoleitfähigkeitskurven über einen sehr weiten Injektionsbereich zu messen. Abbildung 1 zeigt einen Vergleich des typischen Injektionsbereichs verschiedener bekannter Lebensdauermessmethoden. Aufgrund ihrer außergewöhnlichen Empfindlichkeit sind MDPmap und MDPingot in der Lage, über sieben Dekaden der Injektion zu messen. Durch Bias-Licht- und Reflexionsmessungen konnte die ohnehin schon sehr gute Genauigkeit noch erheblich verbessert werden.
Mit MDPmap lässt sich der gesamte wichtige Injektionsbereich mit nur einer Methode abdecken, wie in Abbildung 2 für zwei verschiedene Punkte auf einem mit SiNx passivierten mc-Si-Wafer gezeigt wird. Bislang war es notwendig, mehrere verschiedene Methoden zu verwenden, die oft nicht miteinander vergleichbar sind. Mit MDP ist ein einfacher Zugriff auf die wichtigen injektionsabhängigen Lebensdauerkurven möglich.
Weitere Informationen finden Sie unter:
[1] S. Rein, Lifetime Spectroscopy – Eine Methode zur Defektcharakterisierung in Silizium für photovoltaische Anwendungen, Band 85 (Springer, Berlin Heidelberg, 2005)
Bulklifetime versus injection for a varying symmetry factor and energy level
Fig. 1: Comparison of typical injection ranges of different measuring methods Fig. 2: injection dependent lifetime measurements on 2 different spots on a SiNx passivated mc-Si wafer
Verknüpfte Branchen und Applikationen: Epitaxieschichten und dünne Filme
