Optimieren Sie die Waferausrichtung inline für eine höhere Produktivität.
Ultra-schnelle hybride röntgenoptische Messtechnik mit proprietärem Algorithmus
Vollständige Automatisierung mit SMIF-Loadports für den OHT-Anschluss
Wächst mit Ihrer Expansion: 70-300 mm Flexibilität bei der Wafergröße
Materialien
Die XRDmap Pro Wafer Edition ermöglicht eine maximale Wertschöpfung, indem nachfolgende Prozesse wie Epitaxie, Lithografie und Ionenimplantation auf die Kristallorientierung abgestimmt werden. Dank ihrer ultraschnellen Messgeschwindigkeit und der nahtlosen Fabrikautomation gewährleistet sie die Einhaltung der Prozessvorgaben der Lieferanten und einen reibungslosen Materialfluss.
Si Ge GaAs GaN Ga₂O₃ Diamond InP and more
Eigenschaften & Vorteile
70-300 mm
Wafergröße
0.003˚
Genauigkeit der Schnittlänge
Flexibel
Lade- und Kommunikationsoptionen
Gemessen an
opt. Sensoren
Wafergeometrie
