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Überdenken Sie Ihre Barrenschleifvorbereitung: automatisiert, präzise, schnell.

  • Schnelle Bestimmung der Kristallorientierung

  • Optische Geometrieprüfung mit integriertem konfokalen Sensor

  • Präzise und vollautomatische Verleimung und Endstückbefestigung

Eigenschaften & Vorteile

70-300 mm

Barrengröße

0.005°

Präzision auf der Achse

Flexibel

Lade- und Kommunikationsoptionen

Zylinder
Berechnung

mit hybrider Messtechnik

Zylinder
Berechnung

mit hybrider Messtechnik


  • Höchste Präzision bei schneller Messung: < 5 Sekunden/Probe

  • Typische Standardabweichung der Neigung (Beispiel: Si 100): < 0,003 °, mindestens < 0,001 °

  • Automatische Ausrichtung des Blöcks

  • Automatische Positionierung der Klebestücke

  • Optische Bestimmung geometrischer Merkmale (Flach-/Kerbenposition) von rohen und/oder geschliffenen Barren

  • Automatische Kennzeichnung von Barren

  • Einfache Integration in die Prozesslinie (manuelle oder robotergestützte Beschickung)

  • Data-Matrix-Code (DMC)-Lesegerät

  • MES-Schnittstelle; SECS/GEM oder ähnlich

  • Barren mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm und einer Länge von bis zu 520 mm



Entdecken Sie die wichtigsten Vorteile in 60 Sekunden


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Spezifikationen

ParameterStandardabweichung
Durchmesser< 6 µm (geschliffene Barren); < 30 µm (Rohbarren)
Kerb-/Flachposition< 0,01°
Kerbtiefe< 6 µm
Kerböffnungswinkel< 1,5°
Röntgenachse vs. Flach-/Kerbenposition< 0,02°
Blocke Länge> 0,1 mm

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