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Materialien

Mit Wafer XRD lässt sich eine Vielzahl von Materialien präzise analysieren. Dank ihrer Flexibilität und Leistungsfähigkeit erfüllen unsere Systeme selbst die anspruchsvollsten Anforderungen.

Si SiC Quartz GaN GaAs AIN InP Al₂O₃ (sapphire) and more

Eigenschaften & Vorteile

  • Vollautomatisches System zur Handhabung und Sortierung von Wafern (z. B. von Kassette zu Kassette)

  • Messung der Kristallorientierung und des spezifischen Widerstands

  • Optische Bestimmung geometrischer Merkmale (Kerbenposition, Kerbenhöhe, Kerbenöffnungswinkel, Durchmesser, Flachposition und Flachlänge) von Wafern

  • Abstandsmessung für unpolierte Wafer und spiegelnde Oberflächen

  • MES- und/oder SECS/GEM-Schnittstellen

Wafer XRD - Exklusiv bei Malvern Panalytical

Dieses Produkt wird von unserem bewährten Partner vertrieben.

Kontakt für Demo

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