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Stangenausrichtung, Waferanalyse und Rohlingsortierung mit einem Röntgendiffraktometer

  • Messgeschwindigkeit von nur 2 s (AT-Quarz)

  • Höchste Genauigkeit ≤ 10 Bogensekunden Standardabweichung

  • Räumliche Auflösung 1 mm ± 0,1 mm

Eigenschaften & Vorteile

  • Bestimmung der Neigung der Ausrichtung relativ zur Probenoberfläche

  • Automatische Anzeige der Winkelkomponenten (Theta & Phi) einschließlich Standardabweichung

  • Deutsche Ingenieurskunst: robuste und modulare Bauweise

  • Erhältlich für verschiedene Ausführungen: AC, SC, IT, TF und weitere

  • Benutzerfreundliche Software-Suite mit mehreren Benutzerebenen sowie automatischer Anzeige, Aufzeichnung und Auswertung von Messdaten

  • Automatisierung: Maßgeschneiderte Probenhandhabungssysteme für Wafer oder Rohlinge unterschiedlicher Größe, einschließlich Roboter, Pick-and-Place-System und Vibrationszuführung



Herstellungsprozess vom Barren zum Rohling


Optionen

  • MES-Schnittstelle für die Industrie

  • Kartierung (Wafer)

  • Stereografische Projektion und mehr

Technische Daten

  • Röntgenröhre: 1,5 kW, Kupferanode

  • Stromversorgung: 200 – 230 V, 16 A, einphasig

Wir bauen seit Jahrzehnten XRD-Systeme für die Quarzindustrie - einige davon laufen seit über 20 Jahren rund um die Uhr. Diese Stabilität liefert bei jeder Schicht konsistente, rückverfolgbare Ergebnisse.

Dr. Ing. Hans-Arthur Bradaczek
Leiter der Röntgentechnik

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