Präzise Materialanalyse für die Qualitätskontrolle von Halbleitern: Die RES-Reihe
Eine fortschrittliche Widerstandsmessung ist für die Qualitätskontrolle von Halbleitern aus Materialien wie SiC, GaN, InP und anderen unerlässlich. Mithilfe der Wirbelstrommessung ermöglicht sie berührungslose, hochpräzise Messungen mit ausgezeichneter Wiederholgenauigkeit (σ < 0,15 %), selbst bei komplexen Formen wie Wafern, Boules und Ingots. Integrierte Abstands- und Temperatursensoren gewährleisten stabile, genaue Ergebnisse, indem sie externe und materialbedingte Schwankungen kompensieren.
Die Automatisierung der Widerstandsmessung hat den Durchsatz deutlich erhöht und manuelle Eingriffe reduziert. Mit X-Y-Messfunktionen und einer Mehrpunkt-Messauflösung von bis zu ±0,1 mm sind diese Systeme sowohl für Forschungslabore als auch für die Großserienfertigung optimiert. Einfache Kalibrierungsroutinen und die Kompatibilität mit Industriestandards wie SEMI MF 673 tragen dazu bei, die Einrichtung zu vereinfachen und die langfristige Systemleistung aufrechtzuerhalten.
Durch die Kombination von hoher Empfindlichkeit, Automatisierung und breiter Materialkompatibilität unterstützt diese Technologie ein breites Spektrum an Halbleiteranwendungen – und hilft Herstellern dabei, die Ausbeute zu verbessern, die Entwicklung zu beschleunigen und sicher zu skalieren.
Die Markteinführung von RESmap war ein besonderer Meilenstein - ein "Game Changer" für die Halbleiterindustrie.
Dr. Christian Hagendorf
Großkundenbetreuer
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