Präzise Materialanalyse für die Qualitätskontrolle von Halbleitern: Die RES-Reihe
Fortschrittliche Messmethoden für ortsaufgelöste Widerstandsmessungen sind für die Qualitätskontrolle von Halbleitern aus Materialien wie SiC, GaN, InP und anderen unerlässlich. Mithilfe von Wirbelstrommessungen ist es möglich berührungslose, hochpräzise Messungen mit ausgezeichneter Wiederholgenauigkeit (σ < 0,15 %), selbst bei komplexen Formen wie Wafern, Boules und Ingots durchzuführen. Integrierte Abstands- und Temperatursensoren gewährleisten stabile, präzise Ergebnisse, indem sie externe und materialbedingte Schwankungen kompensieren.
Die Automatisierung der Widerstandsmessung erlaubt es den Durchsatz deutlich zu erhöhen und manuelle Eingriffe zu reduzieren. Mit X-Y-Messfunktionen und einem Mapping von bis zu ±0,1 mm Auflösung sind die RESmap Systeme sowohl für Forschungslabore als auch für die Großserienfertigung optimiert. Einfache Kalibrierroutinen und die Kompatibilität mit Industriestandards wie SEMI MF 673 tragen dazu bei, die Inbetriebnahme zu vereinfachen und die langfristige Systemleistung aufrechtzuerhalten.
Durch die Kombination von hoher Empfindlichkeit, Automatisierung und breiter Materialkompatibilität unterstützt diese Technologie ein breites Spektrum an Halbleiteranwendungen – und hilft Herstellern dabei, die Ausbeute zu verbessern, die Entwicklung zu beschleunigen und sicher zu skalieren.
Die Markteinführung von RESmap war ein besonderer Meilenstein - ein "Game Changer" für die Halbleiterindustrie.
Dr. Christian Hagendorf
Key Account Manager
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