Präzise Erfassung der Oberflächenausrichtung mit Omega-Scan
Selbst innerhalb eines einzelnen Kristalls können über die Oberfläche hinweg geringfügige Abweichungen in der Kristallorientierung auftreten, häufig bedingt durch innere Spannungen aufgrund von Gitterfehlern. Ebenso können gut gewachsene Dünnschichten einzigartige Orientierungsverteilungen in der Ebene aufweisen.
Die Kartierung solcher Oberflächen erfordert in der Regel zahlreiche Messungen, und genau hier zeichnet sich die Omega-Scan-Methode durch ihre Schnelligkeit und Effizienz aus. Das Bild unten zeigt eine Orientierungskarte, die auf einem (Si, Ge)-Mischkristall-Wafer gemessen wurde, wobei die maximale Orientierungsabweichung nur 0,03° beträgt. Die konzentrischen Kreise in der Karte entsprechen den Wachstumsringen des Kristalls und liefern wertvolle Einblicke in dessen Struktur.
Verknüpfte Technologien: Theta-scan, Omega-Scan
Verknüpfte Branchen und Applikationen: Epitaxieschichten und dünne Filme
