전기적 특성 분석
반도체 소자의 성능은 근본적으로 소재의 주요 전기적 파라미터에 좌우되며, 따라서 결함 밀도와 그 전기적 특성에 의해서도 결정된다.
단일 결정의 경우에도, 격자 결함에 의해 발생하는 내부 응력으로 인해 표면 전체에 걸쳐 결정 배향이 미세하게 달라질 수 있습니다. 규칙적으로 성장된 박막 역시 흥미로운 면내 배향 분포를 보일 수 있습니다.
표면을 매핑하려면 많은 측정이 필요합니다. 이때 오메가 스캔(Omega Scan) 방식은 속도 면에서 장점을 발휘할 수 있습니다. 사진은 (Si, Ge) 고체 용액 웨이퍼에서 측정된 배향도입니다. 최대 배향 차이는 0.03°입니다. 동심원들은 결정의 성장 고리를 따라 나타납니다.
이동 통신사 프로필 시뮬레이션
수명 측정을 더 잘 이해하고 서로 다른 측정 방법 간의 비교 가능성을 높이기 위해서는 시뮬레이션을 수행해야 합니다.
