재료 결함의 근본 원인 분석 가능: 파괴가 없고 유연하며 정밀함
높은 공간 해상도
모든 재료에 대한 맞춤형 레이저 및 광학 통합
최대 4'' 샘플을 위한 새로운 냉동고
재료
MDpicts pro는 거의 모든 반도체의 전기적 특성 분석을 가능하게 합니다
Si SiC Ge GaAs Ga₂O₃ InP Diamond and more
기능 및 장점
355-4600nm
사용 가능한 파장
10ns
시간 분해능
83-300 K
온도 범위
10 µm
공간 해상도
적용 분야
기술 사양
| 온도 범위 | 83 – 350 K |
|---|---|
| 시료 크기 | 최대 4인치 웨이퍼 작은 웨이퍼 조각 |
| 저항률 | 0.2 - >1010 Ωcm |
| 전도형 | p형, n형 |
| 소수 캐리어 수명 | 20 ns – 100 ms |
| 측정 가능한 특성 | 수명, 광전도도, 활성화 에너지 등 |
| 여기 | 355 – 4600 nm |
