얇은 층과 표면을 위한 고급 재료 연구 지원: 파괴가 없고 유연하며 빠름
첨단 전자 감지 시스템으로 높은 감도 제공
최대 4가지 파장을 위한 맞춤형 레이저 및 광학 장치
전하 분리 공정 및 전자 전이(결함) 조사
재료
기능 및 장점
355-1550nm
사용 가능한 파장
10ns
시간 분해능
0.1 mm
공간 해상도
< 5분 미만
8인치 웨이퍼 처리량
R&D 및 생산 모니터링을 위한 유연한 매핑 도구
HR-SPSmap 제품 플랫폼은 널리 인정받은 MDPmap 시리즈의 검증된 기반을 바탕으로 개발되었습니다. 이 소형 벤치탑 비접촉식 전기 특성 분석 장비는 오프라인 생산 관리 및 연구 개발 용도로 특별히 설계되었습니다. 이 장비는 광범위한 주입 범위에서 표면 광전압(SPV)을 측정하며, 정상 상태 및 단파장 여기 모두를 지원합니다. 자동화된 시료 인식 및 파라미터 설정 기능을 통해, 이 장비는 성장된 소재부터 완전히 제작된 소자에 이르기까지 다양한 공정 단계의 에피택셜 층 및 웨이퍼를 포함한 광범위한 시료에 손쉽게 적응합니다.
탁월한 유연성과 고급 기능
HR-SPSmap의 두드러진 장점 중 하나는 탁월한 유연성입니다. 고정 에너지 여기원을 탑재한 이 시스템은 측정 헤드 내에 최대 4개의 레이저를 통합할 수 있습니다. 이 기능을 통해 매우 낮은 주입 수준에서 높은 주입 수준에 이르는 광범위한 범위에서 주입 수준에 따른 SPV 측정이 용이하며, 서로 다른 레이저 파장을 사용하여 깊이 프로파일링을 수행할 수 있습니다. 또한 이 시스템에는 향상된 측정 옵션을 위한 바이어스 라이트 기능이 포함되어 있습니다.
또한, HR-SPSmap은 사용자 지정 계산 및 매핑 구성을 지원할 뿐만 아니라, 상세한 외부 분석을 위해 원시 데이터를 내보낼 수 있는 기능도 갖추고 있습니다. 표준 계측 작업을 위해 이 플랫폼은 사전 정의된 레시피 시스템을 제공하여, 버튼 하나만 누르면 일상적인 측정을 완료할 수 있습니다.
정밀성과 적응성 확보
고급 기능과 사용자 친화적인 설계를 갖춘 HR-SPS는 고정밀 표면 광전압 측정을 필요로 하는 연구자 및 생산 팀에게 이상적인 솔루션입니다. R&D 혁신이든 신뢰할 수 있는 생산 모니터링이든, 이 플랫폼은 전기적 특성 분석의 유연성과 효율성을 새롭게 정의합니다.
