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기능 및 장점

  • 감도: μV 단위 감도 및 7개 이상의 순서(7 orders of magnitude)에 달하는 신호 높이 분해능

  • 측정 속도: 1mm 분해능으로 150mm 웨이퍼 1포인트당 5분 미만

  • 시간 분해능: 10 ns ~ 100 ms

  • 광학 헤드: 200~3000 nm 파장 범위에서 출광 강도와 파장을 조절할 수 있는 레이저 구동 광원. 스펙트럼 폭 < 10 nm.

  • 신뢰성: 높은 신뢰성과 99% 이상의 가동률을 보장하는 내장형 단색화기를 갖춘 벤치탑 장비

R&D 요구 사항을 위한 맞춤형 매핑 시스템

연구개발(R&D)용 유연한 매핑 도구

가변 에너지 여기 소스를 탑재한 SPSresearch는 고정여기 방식의 HR-SPSmap 시스템과 동일한 견고한 기반 위에 구축되었습니다. 이 소형 벤치탑 비접촉식 전기적 특성 분석 도구는 오프라인 생산 관리 및 연구 개발 용도로 설계되었습니다. 이 장비는 광범위한 주입 범위에서 정밀한 표면 광전압(SPV) 측정을 제공하며, 정상 상태 및 단파장 여기 모두를 지원합니다. 또한, 진정한 분광학 측정을 위한 연속적인 파장 스윕 기능을 제공하여, 모든 광활성 시료에 대한 신뢰할 수 있는 특성 분석을 가능하게 합니다.

다목적성 및 자동화된 적응성

SPSresearch는 유연성과 효율성을 위해 설계되었습니다. 자동화된 시료 인식 및 파라미터 구성 기능을 통해 원재료부터 완제품에 이르기까지 다양한 공정 단계에서 처리된 에피택셜 층 및 웨이퍼를 포함한 광범위한 시료에 원활하게 적용할 수 있습니다.

연구 개발 혁신이든 엄격한 생산 모니터링이든, 가변 에너지 여기 기능을 갖춘 SPSresearch는 타의 추종을 불허하는 정밀도와 다용도성을 제공하여 전기적 특성 분석 솔루션의 새로운 기준을 제시합니다.

관심 있으신가요? 저희 전문가들이 기꺼이 도와드립니다.

기술 사양

시료 크기분말 시료 및 직경 200mm 이하
여기레이저 구동 광원
재료모든 광활성 물질 (사용하실 재료에 대한 상담은 당사로 문의해 주십시오)
측정 가능시간 분해 및 위상 변조 표면 광전압 측정
치수1250 × 410 × 460 mm (폭 × 높이 × 깊이), 무게: 약 100 kg
전원100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A

액세서리 및 옵션

당사의 장비는 특정 요구 사항을 효과적으로 충족할 수 있도록 다양한 구성 옵션을 제공합니다. 각 모델은 최대한의 유연성과 효율성을 보장하도록 맞춤 설정할 수 있습니다.

자세한 내용은 문의해 주십시오

  • 펄스 폭 및 펄스 높이 변조

  • 통합 가열 스테이지 (20–250 °C)

  • 스팟 크기 변동

  • 바이어스 광

  • 저항률 측정 (웨이퍼)

  • 기준 웨이퍼(Si)

연락하기

언제든지 주저하지 말고 연락해 주십시오. 문의 사항이나 요청 사항이 있으시면 기꺼이 도와드리겠습니다.

문의 양식을 이용하시거나 이메일(sales@freiberginstruments.com)로 연락해 주십시오.