MDPlinescan

인라인 라인 스캐너 또는 단일 지점 측정

MDPlinescan은 자동 검사 시스템에 원활하게 통합되도록 설계된 OEM 장비입니다. 이 장비는 일반적으로 컨베이어 벨트나 로봇 시스템을 통해 측정 헤드 아래로 시편이 이동하는 방식으로, 캐리어 수명 검사를 실시간으로 수행합니다. 응용 분야는 실리콘 브릭에서 웨이퍼 검사에 이르기까지 다양하며, 웨이퍼당 1초 미만의 측정 속도를 달성합니다. 이 장비는 셀 생산 라인에서 입고되는 소재의 품질을 평가하거나 패시베이션 및 확산 공정 후의 공정 품질 점검 등 다양한 특수 용도로 널리 사용됩니다. 이더넷 연결과 전원 공급만 있으면 되므로 통합이 매우 간편합니다.

사실

• 단일 웨이퍼 분석이 가능

• 레시피 기반 측정

• 소재 품질, 공정 무결성 및 안정성 모니터링

장점

• 이 소형 장비는 µ-PCD 또는 정상태 여기 조건에서 소수 캐리어 수명 및 저항률 곡선을 측정하는 데 중점을 두고 있습니다.

• 이 장비는 다결정 또는 단결정 실리콘 웨이퍼의 다양한 전처리 단계부터 소자, 브릭 또는 잉곳에 이르기까지 생산 라인에 통합될 수 있는 OEM 장치입니다.

• 소형 크기와 표준 자동화 인터페이스를 통해 쉽게 통합할 수 있습니다. 측정 결과의 장기적인 신뢰성과 정밀성에 중점을 둡니다.