생산성 향상을 위해 웨이퍼 정렬을 인라인으로 최적화합니다.
독자적인 알고리즘을 갖춘 초고속 하이브리드 X-선 광학 계측 기술
OHT 연결에 적합한 SMIF 로드포트를 갖춘 완전 자동화 기능
확장과 함께 성장: 70-300mm 웨이퍼 크기 유연성
재료
XRDmap Pro Wafer Edition은 에피택시, 리소그래피, 이온 주입과 같은 후속 공정을 결정 방향에 맞춰 조정함으로써 최대의 부가가치를 창출합니다. 초고속 측정 속도와 원활한 공장 자동화를 통해 공급업체의 공정 준수 요건을 충족시키고 원활한 소재 흐름을 보장합니다.
Si Ge GaAs GaN Ga₂O₃ Diamond InP and more
기능 및 장점
70-300mm
웨이퍼 크기
0.003˚
절단 잔여물의 크기 정밀도
유연성
로딩 및 통신 옵션
측정 기준
옵티컬 센서
웨이퍼 형상
