Omega-Scan을 사용한 정밀한 표면 방향 매핑
단일 결정 내에서도, 종종 격자 결함으로 인한 내부 응력으로 인해 표면 전체에 걸쳐 결정 배향에 미세한 차이가 발생할 수 있습니다. 마찬가지로, 잘 성장된 박막 역시 고유한 면내 배향 분포를 보일 수 있습니다.
이러한 표면을 매핑하려면 일반적으로 수많은 측정이 필요하며, 바로 이 점에서 오메가 스캔(Omega-Scan) 방식은 뛰어난 속도와 효율성을 발휘합니다. 아래 이미지는 (Si, Ge) 고체 용액 웨이퍼에서 측정된 배향 맵을 보여주며, 최대 배향 차이는 불과 0.03°에 불과합니다. 맵에 표시된 동심원은 결정의 성장 고리와 일치하며, 이는 결정 구조에 대한 귀중한 정보를 제공합니다.
관련 솔루션 및 산업: 에피택셜 레이어 및 박막
