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잉곳 접착 후 준비 과정을 혁신하세요: 자동화, 정밀성, 모듈식

  • 독자적인 알고리즘을 갖춘 초고속 하이브리드 X-선 광학 계측 기술

  • 모듈식 계측 및 툴링을 통한 로봇 구동 작업

  • 고급 공장 연결 및 서비스 제공

재료

Ingot XRD SiC는 첨단 SiC 웨이퍼를 효율적으로 생산할 수 있도록 높은 처리량과 정밀도를 제공합니다.

SiC GaN AIN and more

기능 및 장점

타의 추종을 불허하는
품질

하이브리드 계측 기술을 활용하여

0.005˚

축방향 정밀도

유연성

로딩 및 통신 옵션

지름
100-300

지름
100-300

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