고도로 도핑된 샘플을 위한 빠르고 안정적인 저항률 매핑 도구
탁월한 반복성(시그마 <0.15%)
고급 안정성 센서
원활한 인라인 통합 및 손쉬운 캘리브레이션
재료
RESmap은 고농도 도핑 소재를 전문으로 합니다.
Si SiC and more
기능 및 장점
시그마
< 0.15 %
탁월한 재현성
저항률
1-100
m옴 cm
처리량
> 20
웨이퍼/시간
± 5 %
온도 보정을 적용한 정확도
Bull´s eye chart management for maximum accuracy and precision
Measurement principle of eddy current sensor
적용 분야
RESmap은 탁월한 반복성, 안정성 및 정확성을 제공하므로 다양한 재료에 걸쳐 정밀한 저항률 매핑을 위한 신뢰할 수 있는 선택입니다.
크리스티안 하겐도르프 박사
주요 계정 관리자
| 자동화에 최적화됨 | 다양한 플랫폼 지원 |
|---|---|
| 측정 방법이 | SEMI MF673 표준 준수 |
| NIST 표준을 사용하여 | NIST 표준을 사용하여 |
| 교정 범위 내 | ±1% |
| 내장형 IR 온도 센서 (±0.1°) | 시료의 실제 온도와 다른 표준 온도에서 저항률을 보고할 수 있도록 함 |
| 시료 두께 보정 | 고주파 신호의 침투 깊이가 시료 두께보다 큰 시료에 대해 |
| 전원 요구 사항 | 100-250 VAC, 5 A |
| 치수 (폭/높이/깊이) | 465 x 550 x 600 mm |
| 소프트웨어 제어 | Windows 10 이상 버전이 설치된 표준 PC, 이더넷 포트 2개 |
사용자 친화적인 고급 운영 소프트웨어
저항률 측정 레시피
내보내기/가져오기 기능 및 원시 데이터 액세스
다단계 사용자 계정 관리
수행된 모든 측정값 개요
매핑 옵션(선, 십자, 별, 전체 지도, 지형, 사용자 정의 패턴)
분석 기능 패키지: 통계, 분산 분석, 온도 보정 기능 및 라이브러리
원격 접근성; 인터넷 기반 시스템을 통해 전 세계 어디서나 원격 운영 및 기술 지원 가능