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Ermöglicht die Ursachenanalyse von Materialfehlern: zerstörungsfrei, flexibel und präzise

  • Hohe räumliche Auflösung

  • Maßgeschneiderte Laser- und Optikintegration für alle Ihre Materialien

  • Neuartiger Kryostat für Proben bis zu 4''

Materialien

Mit dem MDpicts pro lassen sich nahezu alle Halbleiter elektrisch charakterisieren

Si SiC Ge GaAs Ga₂O₃ InP Diamond and more

Eigenschaften & Vorteile

355-4600 nm

Verfügbare Wellenlängen

10 ns

Zeitauflösung

83-300 K

Temperaturbereich

10 µm

Räumliche Auflösung

10 µm

Räumliche Auflösung

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Technische Daten

Temperaturbereich83 – 350 K
Probengrößebis zu 4"-Wafer kleine Waferstücke
spezifischer Widerstand0,2 – >1010 Ωcm
Leitungsartp, n
Lebensdauer der Minoritätsträger20 ns – 100 ms
Messbare EigenschaftenLebensdauer, Photoleitfähigkeit, Aktivierungsenergie usw.
Anregung355 – 4600 nm

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