MDPlinescan

Inline-Zeilenscanner oder Einzelpunktmessung

Der MDPlinescan ist ein OEM-Gerät, das für die nahtlose Integration in automatisierte Inspektionssysteme konzipiert ist. Er führt in Echtzeit Scans zur Bestimmung der Lebensdauer von Trägern durch, wobei die Proben in der Regel über ein Förderband oder ein Robotersystem unter dem Messkopf hindurchtransportiert werden. Die Anwendungsbereiche reichen von der Inspektion von Siliziumblöcken bis hin zur Waferprüfung, wobei Messgeschwindigkeiten von unter einer Sekunde pro Wafer erreicht werden. Das Gerät wird unter anderem häufig zur Bewertung der Qualität von Eingangsmaterial in Zellproduktionslinien sowie für Prozessqualitätsprüfungen nach der Passivierung und Diffusion eingesetzt. Die Integration ist unkompliziert und erfordert lediglich eine Ethernet-Verbindung und eine Stromversorgung.

Fakten

• ermöglicht die Untersuchung einzelner Wafer

• rezeptbasierte Messungen

• Überwachung der Materialqualität, Prozessintegrität und Stabilität

Vorteile

• Im Mittelpunkt dieses kompakten Geräts steht die Messung der Lebensdauer von Minoritätsladungsträgern und des spezifischen Widerstands unter µ-PCD- oder stationären Anregungsbedingungen.

• OEM-Einheit zur Integration in Produktionslinien für multi- oder monokristalline Siliziumwafer in verschiedenen Aufbereitungsstufen bis hin zu Bauelementen, Blöcken oder Ingots.

• Die kompakte Bauweise und Standard-Automatisierungsschnittstellen ermöglichen eine einfache Integration. Der Schwerpunkt liegt auf langfristiger Zuverlässigkeit und Präzision der Messergebnisse.