붕소-산소 복합체는 시료에 빛을 조사하여 활성화할 수 있으며, 200°C에서 몇 분간 가열하여 비활성화할 수 있습니다. 이는 철 함량 측정과 유사한 방식으로, 결함 복합체의 활성화 및 비활성화 전후의 수명 측정을 통해 상대적인 붕소-산소 농도를 측정하는 데 활용될 수 있습니다.
붕소-산소 농도는 다음 식으로 결정됩니다:
\([BO_{2}] = C_{BO}(\Delta n) \cdot (\cfrac{1}{\tau_{BO}} - \cfrac{1}{\tau_{FeB}})\)
붕소-산소 농도 측정을 위해서는 주입 및 도핑 농도에 따라 달라지는 보정 계수 CBO가 사용됩니다. MDPmap 및 가열 시료 스테이지를 활용하면 다결정(mc-Si) 및 단결정(mono-Si) 실리콘에 대해 고분해능으로 붕소-산소 농도를 측정할 수 있습니다.
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