평면 내 방향 표시 및 측정

오메가 스캔을 통한 효율적인 결정 방향 및 평면 내 방향 측정

오메가 스캔(Omega Scan)은 단 한 번의 측정으로 결정의 전체 배향 정보를 제공하여, 면내 방향을 직접 식별할 수 있게 해줍니다. 이 기능은 면내 방향을 표시하거나 평면 및 노치의 배향을 확인하는 데 특히 유용합니다.

웨이퍼 이온 주입 및 포토리소그래피 공정 중, 플랫이나 노치는 배향 마커 역할을 합니다. 공정 후 웨이퍼에는 절단하여 분리해야 하는 수백 개의 칩이 포함됩니다. 이 칩들을 격자면과 정확하게 정렬하는 것은 쉬운 절단을 위해 매우 중요하므로, 플랫이나 노치의 위치를 확인해야 합니다. 이를 위해서는 평면 내 성분의 정밀한 측정이 필요합니다.

더 복잡하거나 부정확한 세타 스캔(Theta Scan) 방식과 달리, 오메가 스캔(Omega Scan)은 한 번에 전체 방향을 정확하게 측정합니다. 또한 이 시스템은 사용자가 정의한 특정 위치로 평면 내 방향을 쉽게 조정할 수 있어, 플랫 방향 표시와 같은 작업을 단순화합니다. 대량 처리(High-throughput) 응용 분야를 위해 자동화된 측정 솔루션이 제공되어 최대의 효율성을 보장합니다.