Bewertung der Kristallqualität mittels XRD-Reflexionsanalyse
Die Kristallqualität lässt sich nicht direkt messen, doch können verschiedene physikalische Eigenschaften bestimmt und mit Standards für reine, homogene Kristalle verglichen werden. Eine dieser Eigenschaften ist die Halbwertsbreite einer Reflexion bei der Röntgenbeugung (XRD).
Die Regelmäßigkeit des Kristallgitters bestimmt dessen Qualität. Unvollkommenheiten wie Defekte, Versetzungen und Verunreinigungen sind jedem Gitter inhärent. Darüber hinaus gibt es weitere Diskontinuitäten wie Korngrenzen und Risse. Diese Unvollkommenheiten führen zu lokalen Spannungen im umgebenden Gitter, die durch die Aufzeichnung der Schwingkurve einer Röntgenreflexion erfasst werden können.
Durch die Analyse der geometrischen Eigenschaften des einfallenden Strahls und der daraus resultierenden Halbwertsbreite der Schwingkurve lässt sich die Oberflächenqualität des Kristalls effektiv charakterisieren.
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