Effiziente Kristallorientierungs- und Richtungsmessung in der Ebene mit Omega Scan
Der Omega Scan liefert in einer einzigen Messung die vollständige Kristallorientierung und ermöglicht so die direkte Bestimmung der In-Plane-Richtungen. Diese Funktion ist besonders nützlich für die Markierung von In-Plane-Richtungen oder die Überprüfung der Ausrichtung von Flachstellen und Kerben.
Während der Waferimplantation und der Fotolithografie dient die Fläche oder Kerbe als Orientierungsmarkierung. Nach der Bearbeitung enthält der Wafer Hunderte von Chips, die durch Spalten voneinander getrennt werden müssen. Die korrekte Ausrichtung dieser Chips auf eine Gitterebene ist entscheidend für ein einfaches Spalten, weshalb die Position der Fläche oder Kerbe überprüft werden muss. Dies erfordert eine präzise Messung der Komponenten in der Ebene.
Im Gegensatz zur komplexeren oder ungenaueren Theta-Scan-Methode misst Omega Scan die gesamte Ausrichtung in einem Durchgang präzise. Das System ermöglicht zudem die einfache Anpassung beliebiger Richtungen in der Ebene an eine vom Benutzer definierte Position, was Aufgaben wie die Markierung der Flachausrichtung vereinfacht. Für Anwendungen mit hohem Durchsatz stehen automatisierte Messlösungen zur Verfügung, die maximale Effizienz gewährleisten.
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